http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/603| Назва: | Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів |
| Автори: | Волощук, А. Г. Білоголовка, В. Т. |
| Дата публікації: | 2002 |
| Видавництво: | ІФНТУНГ |
| Бібліографічний опис: | Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів / А. Г. Волощук, В. Т. Білоголовка // Методи та прилади контролю якості. - 2002. - № 8. - С. 44-46. |
| Короткий огляд (реферат): | Описана установка неруйнівного контролю якості фізико-хімічного стану поверхні напівпровідників, шляхом вимірювання поверхневого потенціалу. Приведені функціональна схема і технічні характеристики установки. Викладено вибіркові результати, що відображують вплив хімічних обробок на величину поверхневого потенціалу Si-пластин. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/603 |
| Розташовується у зібраннях: | Методи та прилади контролю якості - 2002 - №8 |
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2210p.pdf | 353.12 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.